JANDEL探头KLA
  • JANDEL探头KLA

产品描述

产品名称:JANDEL探头KLA

产品型号:KLA

产品介绍:

KLA带有 6 路连接器探头与CDE工具制造的探头非常相似,但探头头不可互换,因此应格外小心,尤其是当两个系统都在现场使用时。CDE兼容探头具有*特的黑色物镜转换器。所有 Jandel 探头都具有高水平的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪验证半径、间距和平面度的规格。负载由电子测力计验证。

性能特点

•高性能

参数

•探头间距:0.500mm,0.635mm,1.00mm,1.016mm,1.27mm,1.591mm(针至针头)

•公差:+/- 10微米

•布置:线性或方阵列

•针头:碳化钨直径为0.4mm(直径为0.3mm的距离间距)

•针头选项:50%osmium合金提示可用

•半径:12.5、25、40、100、150、200、300、500微米

•缩放到垫子:0.5毫米

•平面性:+/- 0.025mm或更好

•负载:固定在10克和250克之间

•电气泄漏:500伏特的针之间的1013欧姆电阻


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