SENS4传感器模块VPi-5 iVacSens
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产品描述

产品名称: SENS4传感器模块VPi-5 iVacSens

产品型号: VPi-5 iVacSens

产品介绍: iVacSens 系列真空传感器模块是较小的宽量程多功能组合真空计。iVacSens 具有全功能传统真空传感器的功能,校准后即可交付使用。它专为在真空下操作的仪器(如质谱仪和扫描电子显微镜)中的高等级设备集成而设计。iVacSens 基于创纪录的 SmartPirani MEMS 热损耗传感器,与传统的线式 Pirani、对流规和传统 MEMS Pirani 相比,具有同类高的性能、宽的测量范围和高的精度。SmartPirani 传感器技术与隔膜传感器相结合,可在 2 至 1,333 mbar范围内进行不受气体影响的测量。iVacSens ATM 包含一个热损耗 MEMS Pirani 传感器、一个Abs膜片传感器、一个气压传感器、一个真空温度传感器和一个环境温度传感器。所有传感器测量值均可通过 UART 或 RS-485 数字接口访问。温度参数可用于在设备过热时发出关闭设备的警告或控制信号,或作为计算设备预测性维护的参数。(文件)

性能特点: 

宽测量范围达 9 个量程

3 个用于过程控制的数字设定值输出

模拟电压输出

数字 UART 接口

数字 RS-485 接口

远程零点调整

用于诊断的真空温度传感器

紧凑设计

选型指南: (图)

产品结构与细节: 

连接器引脚引出(10 引脚 0.5 毫米间距 FCC)引脚描述

1 电源电压 -(返回)

2 电源电压 3.3 VDC 或 4-18 VDC(2)

3 模拟电压信号 -(返回)

4 模拟电压信号 +

5 设 3 输出

6 设 2 输出

7 设 1 输出

8 UART 接收或 RS-485 B

9 UART 发送或 RS-485 A

10 远程零点输入

可选功能与配件: 

iVacSens 连接电缆 产品编号

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 针 30 mm 长 CAB-FCC10P-030

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 针 50 mm 长 CAB-FCC10P-050

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 100 mm 长度 CAB-FCC10P-100

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 150 mm 长 CAB-FCC10P-150

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 200 mm 长度 CAB-FCC10P-200

FCC 扁平电缆 0.5 mm 间距 10 引脚 300 mm 长度 CAB-FCC10P-300

技术参数: 

产地:丹麦

测量范围:1×10-6  1,333 mbar(7.5×10-7  1000 托)

测量原理 1×10-6  1.5 mbar:MEMS 皮拉尼热导率

测量原理 1.5 至 2 mbar:混合 MEMS Pirani / 压电读数

测量原理 2 至 1,333 mbar:MEMS 压电电阻膜片

精度 1×10-5  9.99×10-5 mbar:读数的 25 %

精度 1×10-4  9.99 mbar:读数的 5 %

精度 10.0 至 99.9 mbar:读数的 1 %

精度 100 至 800 mbar:读数的 0.5 %

精度 800 至 1,099 mbar:读数的 0.25 %

精度 1,100 至 1,200 mbar:读数的 0.5 %

磁滞 1×10-3  10 mbar (ISO 19685:2017):1 %

磁滞 10 至 1,200 mbar(ISO 19685:2017):0.1 %

真空温度传感器范围:-20 至 + 85 ℃

真空温度传感器精度:+/- 1.5 ℃

传感器温度传感器范围:-20 至 + 85 ℃

传感器温度传感器精度:+/- 1.5 ℃

模拟输出:0.2 至 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)

模拟输出分辨率:12 位

模拟输出新率:124 Hz

响应时间:< 20 ms

温度补偿:+10 至 +50 ℃

设范围(Abs值):5×10-6  1,333 mbar(3.75×10-6  1000 托)

设输出高电平:> 2.9 VDC

设输出低电平:< 0.4 VDC

设输出源电流和灌电流:Max 1 mA

工作环境温度:-20 至 +50 ℃

介质温度:-20 至 +50 ℃

存储环境温度:-40 至 +120 ℃

烘烤温度(非工作):+120 ℃

Max介质压力Abs10 bar

安装位置:任意

防护等级,EN 60529/A2:2013:IP 40

湿度,IEC 68-2-38:98 %,无冷凝

电源电压:+3.3 VDC 或 4 至 18 VDC

功耗:25 mW(Max值)3.3 VDC 电源;95 mW(Max值)4 至 18 VDC 电源

限性反接保护:无

过压保护:无

产品尺寸: (图)

产品应用: 

质谱仪扫描电子显微镜真空泵集成阀门集成太空飞行泄漏检测飞轮储能真空开关


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